产品别名 |
气柜秤,气柜钢瓶秤,气罐变送器,特气柜秤 |
面向地区 |
GSC300气瓶称重系统是一种集中供气系统，应用于半导体制造工艺和设备，称重范围0-30000kg，输出精度高，是半导体行业的。
GSC300气柜秤是高纯度气体和特殊工艺气体的气体应用系统工程、电子特种气体系统、实验室气路系统、工业集中供气系统、散装气体系统、二次管道系统等全套工程技术服务及配套设施。
上海隽创GSC300紧跟市场需求，放眼，诚信经营，科技创新，为中国企业做好特种气体计量系统，让中国企业创新更上一层楼。
GSC300气柜秤为半导体工业特种气体计量应用主要包括：硅烷、二氯二氢硅、乙硅烷,三氯化硼、三氟化硼、磷烷、砷烷,氯气、三氟化氮、溴化氢、四氟化碳、六氟乙烷二氧化碳、氨、氧化亚氮,六氟化钨、基镓等。
GSC300气罐变送器(气柜钢瓶秤,气柜秤)是为了单瓶半自动/全自动特气柜,混合气全自动特气柜,双瓶半自动/全自动特气柜等产品计量.
在半导体产业的刻蚀、扩散、离子注入、薄膜沉积和黄光工艺等关键制程环节都需要使用各高纯气体。在纯气体输送系统的设计中都使用GSC300气柜秤解决圆柱体气罐测量.
