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sf6在电气设备正常工作的温度范围内是稳定的，不会对电气设备常用的金属(钢、铝)和绝缘材料(环氧树脂等)产生化学影响。六氟化硫只有在电弧的作用下，在数千°c的温度下才会发生剧烈的分解和离子化，产生各种各样的分解产物，其中一些以石英粉末为填充剂，导致环氧绝缘体的绝缘性能下降。
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